台在进行曝光的同时，另一个工件台已经载着下一块晶圆进行预对准和测量。两个台面需要在真空环境中以超过7G的加速度进行闪电般的换和移动，同时定位度必须控制在纳米之内。

陈启明直接调出了他优化的设计方案。

材料，他没有选择传统的陶瓷，而是让系统合成了一种“碳化硅基陶瓷-钛合金复合材料”，在保持超高刚的同时，将重量降低了30%。

驱动，他设计了一套全新的“哈尔赫阵列磁悬浮系统”，利用特殊的磁体排布，在工件台下方产生更强、更均匀的磁场，使其能够在无任何物理接触的况下，进行超高速、超平稳的运动。

控制算法，他更是亲手编写了一套包含“前馈-反馈耦合控制”与“多体系统动力学实时解耦”的复杂程序。

在系统的集成制造中心里，巨大的3D打印机直接用激光烧结技术，一体成型地制造出了复杂的工件台基座。无数微型机械臂则如同辛勤的蜜蜂，将成千上万个传感器、致动器和磁体，以亚微米级的度安装到预定位置。

又一个五个小时后，一套在能上全面碾压ASML最先进产品的双工件台系统，宣告完工。经过测试，它的极限加速度达到了惊的10G，而重复定位度，则被锁定在了恐怖的0.1纳米！

光学系统（灵魂）、机械系统（躯）都已完成。接下来，是赋予这台机器智慧的“大脑”——全套的控制与作系统。

这同样是一个庞大到令生畏的工程，其代码量和复杂度，不亚于开发一套完整的PC作系统。

但对拥有完整知识的陈启明来说，这只是一个“翻译”工作。

他再次回到办公区，双手在虚拟键盘上化作一片幻影。

从最底层的硬件驱动，到中间的运动控制与时序管理模块，再到最上层的图形化作界面和工艺流程编辑软件……一行行完美无瑕、逻辑严谨的代码从他指尖流淌而出。

他甚至顺手编写了一套配套的EDA（电子设计自动化）软件，其能足以让当前市面上的Synopsys、Cadence等巨公司的产品相形见绌。

……

一复一，时间慢慢流逝。时间来到12月19，星期一。

当陈启明写下最后一行代码并按下编译键时，他已经独自一，完成了光刻机制造所需的所有核心硬件、软件、算法和材料的研发与制造。

一个的光刻机全产业链！时间仅仅花费14天。

这是一个足以让整个世界都为之疯狂的奇迹。