叮铃铃~

陈启明的手机响起，他看了眼时间。发布页LtXsfB点￠○㎡

“……怎么就到晚饭点了？我到底在实验室逛了多久思考了多久？”

“喂，妈，怎么了？”

“小明你去哪了，还没放学吗？饭快做好了赶快回来吃饭！”电话那的母亲带着一丝嗔怪的语气。

陈启明心里咯噔一下，但脸上依旧平静，脑子飞速运转，一个完美的借瞬间成型。

“哦，在图书馆学习呢，我马上回来！”

“行，那你快点啊，菜要凉了。”

挂断电话，陈启明最后扫了一眼这片闪烁着未来科技光芒的地下帝国，与楼上那个即将飘来饭菜香的间世界形成了鲜明对比。他关掉所有屏幕，快步走上阶梯。随着他的离开，身后的无声无息地恢复成那片平平无奇的水泥地面，仿佛一切都未曾发生。

趁着父母不注意，偷偷从地下室溜了出来，又偷偷到门假装开门回来，动作娴熟，丝毫没有被发现！

晚饭过后，“爸，妈，我出去一件大事，而且是好几天，没有重大事不要来找我。”

“你去什么大事？！快要九省联考了还出去鬼混！”

“你这臭小子一个高中生还能什么大事？好好学习准备考试才是正事！”

“这真是大事！你们不要打扰我，手机最好也别打了。”

趁父母吃饭的不注意，陈启明又偷偷溜地下室，回自己的专属实验室继续1nm光刻机的研发制造。

地下室的无声关闭，隔绝了间烟火。陈启明站在阶梯的尽，整个地下科技帝国的光芒仿佛都在迎接他的回归。

这一次，他的眼中没有了初见时的震撼，取而代之的是一种创造者即将挥毫泼墨的专注与炽热。他没有片刻停留，径直走向了相关实验室。

首先是第一步，光学系统——机器的灵魂！

来到超密光学中心的实验室，在这里，空气中连一粒尘埃都看不到，洁净度超越了类现有一切标准的Class 1级别。在这里，哪怕是一粒纳米级的尘埃落在镜片上，都可能导致整套光学系统的报废。

陈启明没有去看那些现成的、代表着当前地球最高水平的设备，而是直接走向实验室的“材料合成与生长区”。

制造1nm光刻机的光学系统，第一步，也是最基础的一步，就是制造出承载一切的镜片基底——镜坯。在前世，这是德国肖特公司耗费数十年攻关才掌握的顶级绝活，其制造出的零热膨胀系数石英玻璃，是蔡司镜片的基础。发布页Ltxsdz…℃〇M

但陈启明要做的，比那更好。

目标：合成零热膨胀系数的‘复合碳化硅-石英’晶体，尺寸，直径550mm。

随着他按照学习和说明，一点一点的作和指令，一台巨大的圆柱形设备发出低沉的嗡鸣。内部瞬间被抽成绝对真空，温度和压力参数在屏幕上以毫秒级的频率进行着确调整。陈启明没有使用现成的石英砂，而是直接在【万物采购】中订购了最纯粹的碳和硅。

这些基础元素在设备中被气化，然后在一块小小的籽晶上，以一种超越蓝星理解的“诱导外延生长”方式，一个原子层一个原子层地完美堆叠。

屏幕上，晶体的生长过程被实时模拟出来，其内部晶格结构完美无瑕，没有任何杂质和缺陷。整个过程，快得不可思议。外界需要数周乃至数月才能缓慢生长出来的巨大晶体，在这里，仅仅花费了几个小时。

当设备门打开，一块通体黝黑、却散发着奇异光泽的巨大圆形镜坯，被机械臂稳稳地托了出来。它的物理能，在耐用、刚和热稳定上，全面超越了德国肖特公司的王牌产品。

“第一步，完成。”陈启明面无表，仿佛只是完成了一次高中化学实验。

紧接着，镜坯被送了隔壁的“超密加工区”。

迎接它的是一台系统特供的“磁流变与离子束复合抛光机”。这是光刻机制造中，神话色彩最浓重的一步——镜面打磨。

在前世，为了将镜片表面打磨到皮米级度，蔡司的工程师需要耗费数年时间，用最密的仪器进行无数次的测量和修正。

但在这里，陈启…明只是将自己设计的、包含复杂非球面参数的八块变形镜（Anamorphic Mirrors）图纸导系统。

“开始加工。”

巨大的机械臂夹着镜坯，以一种奇异的韵律在高速旋转的磁流变体中移动。无数细小的磁颗粒在磁场控制下，如同一支无形的、拥有亿万根刷毛的刷子，对镜面进行着亚纳米级的“粗加工”。

几小时后，粗加工完成。紧接着，一道幽蓝色的高能离子束被激发，如同最锋利的手术刀，开始对镜面进行最后的“雕琢”。离子束每扫过一次，就在镜面上剥离掉几个原子层，其度之高，已经超出了当前类物理学的测量极限。

又是几个小时过去。

【所有镜片加工完毕，表面粗糙度：0.05皮米。曲面廓误差：低于0.01皮米。】

看到这个数据，就算是心如止水的陈启明，也不禁吸一气。0.01皮米！这是什么概念？相当于在整个太平洋海面上，最高的花和最低的波谷之间，高度差不超过一根发丝的百万分之一！

这已经不是工业，而是神迹！

接下来是第三步，也是决定EUV光刻机成败的关键——多层膜（Multilayer）的镀制。

由于没有任何材料能有效折13.5纳米波长的EUV光，所以EUV光刻机必须使用反镜。为了最大限度地反EUV光，镜片表面必须镀上四十到五十层“钼（Mo）”和“硅（Si）”替组成的薄膜，每一层的厚度都必须确控制在几纳米。

在前世，这是全球仅有少数几家公司掌握的核心机密，其反率的理论极限被公认为70%。

陈启明将八块完美无瑕的镜片送“原子层沉积（ALD）”设备中。但他并没有直接开始镀膜。

“在Mo/Si多层膜之间，厚度为0.1纳米的‘钌-石英’复合界面层，以消除界面应力，提升反率。”

这又是他基于更高维知识进行的魔改！外界科学家还在为如何减少薄膜之间的应力而苦恼时，他已经找到了完美的解决方案。

随着设备运行，不同元素的原子蒸汽被替注真空腔体，一层又一层地“刷”在镜片表面。

当镀膜完成，系统给出了最终的检测报告。

【反率：71.8%。】

超越理论极限！

至此，整套High-NA EUV光学系统的核心部件，这套凝聚了光学、材料学和密制造巅峰的“神之眼”，在不到十个小时的时间里，被陈启明一个，从最基础的原材料开始，一手打造完成！

这在地球上是不可想象的。任何一个国家想要复刻这个过程，都需要投数十年时间和数千亿美元，组织成千上万的顶尖科学家和工程师协同攻关，而且成功率极低。

而这，仅仅是陈启明的第一步。

他马不停蹄地来到下一个实验室，开始制造光刻机的“躯”——双工件台系统。

这是机械工程的极限。为了效率，它要求一个工件