如果没有周硕的扰，从0.35微米工艺向0.25微米工艺过渡的光刻机，真实历史上实际使用的是步进重复投影曝光技术。

在0.35微米工艺及之前，光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生产的芯片，是一对一全比例设计。

掩膜版投的镜需要与硅片进行完全的接触，接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上，投影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把这样的晶圆放到蚀刻机里面，化学药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉，然后再把晶圆转移到离子注机上进行离子注……

把镜和晶圆直接接触，或者两者之间只有小缝隙的接近，这种光刻机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用这种技术的光刻机镜要和晶圆进行完全的接触，对掩膜版、镜、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。

这种设计自有其好的一面，对镜度要求低，系统复杂度低，以及成像质量高之类的优点。但也有其致命的缺陷，0.35微米工艺基本上就是其经济的极限了。

0.25微米工艺光刻机想要延续接触式曝光，整个系统需要的机械密程度，掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接触紧密度，系统的集成难度都开始了几何级数的增加。

于是在原本的历史上，尼康也好、阿斯麦也好都选择了另一条路，那就是非接触式曝光。也就是投影式曝光技术。

这种技术说白了，就是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投到硅片上。这样经过几次聚焦、折、再聚焦，最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。

对于沉浸式光刻技术而言。投影式曝光技术最大的好处就是——避免了使用防水光刻胶的高成本。

其实说起来，周硕现在真的很想哈哈大笑一下，以发泄自己内心的畅快！

本费尽心思弄到了防水光刻胶的技术，原本他们这个技术至少是可以吃一代光刻机没问题的。历史上，早期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机，直到投影式光刻机成为主流防水光刻胶才退出了历史舞台。

他现在拿出来的这份文件，自然就是投影式光刻机的技术专利，可以说这项技术一出防水光刻胶就是一个废物了！

鹤田刚开始还不以为然，在他的心里早就已经认为泛翰集团是砧板上的鱼。哪里还有什么翻盘的机会？

这个年代里，本不仅是骄傲的，而且也非常有骄傲的资本。整个九十年代，世界十大晶圆厂，本占了半数还多！

在鹤田和所有本看来，中国能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子，反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛！

除了沉浸式光刻技术这种独辟蹊径的取巧之道，本绝不相信泛翰集团还能在其他方向产生突，他们手里的底牌也就是仅此而已。

然而事实证明。中国比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说，不啻是一个巨大的嘲讽。

以技术先进为傲的尼康，竟然会屡屡失败在一个小小的中国企业面前！这tm的不科学啊！

鹤田的脸色随着他看完整个授权专利证书之后，就黑的好像一块锅底的黑炭了。任谁在看到自家花费巨资研发出来的技术。转眼就被给淘汰掉了，心里肯定都会恨不得把对方给咬死。

可惜，鹤田注定是不敢咬死的。

步进投影技术不仅能摆脱对防水光刻胶的依赖。更重要的是只要稍作优化，立刻就又能把光刻机制程技术向前推进一个时代……

你们要不要这么逆天？！

鹤田很想这么呐喊一声。如果让泛翰集团这么肆无忌惮的发展下去，说不定连摩尔定律都要被打了。

从0.35微米工艺都没普及的程度。直接跳到0.18微米，可以想象这会在市场上掀起怎样的腥风血雨。

鹤田牙缝里再敢蹦个“不”字，尼康就要被管杀不管埋了。

“周桑……这个文件是真的？”鹤田张了张嘴，脑袋里一团麻，只能问出这么没有营养的问题了。

他对重复投影式曝光技术并不陌生，如果说沉浸式光刻技术是左道旁门，那投影式曝光就是名门正道！光刻机提升能的主要方法，大多都是通过增加光学系统度实现的——而重复投影曝光技术，可以说是将这种思路延续到了极致！

“呵呵，是不是真的，尼康可以自己求证一下。”周硕无所谓的耸了耸肩，轻松的笑道。

鹤田背靠在椅子上，心知这种事是不可能作假的。只要他一个电话过去，用不了半个小时查询结果就能出来，耍这种花招毫无意义。

即使如此，他仍然吩咐手下让去查询相关的专利况。一纸证书能够体现的东西有限，专利注册的时候需要提供很多技术思路，说不定也会有所收获。不过那都是以后的事了，现在周硕表现的来的实力，却不允许他再肆无忌惮的打压下去。

“好吧，周桑。”鹤田呼出一气，这种胜利即将到手却被绝地翻盘的感觉，实在是太伤士气了。他强打神抬起来，看向周硕说道：“既然况出现了变化，尼康可以重新考虑原来的要求。违约金、退和迁移生产线这些问题，咱们都可以好好谈一谈……”

“谈什么？”周硕抱着胸，笑吟吟的问道。

“呃，谈谈你手里的技术。”鹤田老脸一红，这样的转变未免太过生硬了一些，不过这时候却也顾不得了：“说实话为了实现利润最大化，现在就公布投影步进式光刻技术并不是一个好主意。要我说大可当做储备技术，等我们在沉浸式光刻机上面赚到满意之后，再放出这项技术来。”

“怎么，尼康现在不想把我扫地出门了？”周硕低抠着手指甲，心不在焉的问道。

“哈哈，尼康怎么会有这种打算！”鹤田大笑了一声，掩饰他脸上的尴尬，晃着拨鼓似的脑袋说道：“泛翰集团是尼康最重要的合作伙伴，我们绝不会做出这种……嗯，卸磨杀驴的事。”

他自认为用了一个中国成语还是很值得高兴的事，自得的笑着笑着却再也笑不下去了，因为对面的周硕脸上始终都是冷冰冰的一片。

“鹤田桑敢做不敢认，这就太没有男子汉气概了。”周硕淡淡的说道：“既然尼康不想收购我手里的份了，那咱们就谈谈你们手里那51%的份吧。”

“纳尼？”鹤田坐直了身体，眼光猛的正经了起来：“周桑这话是什么意思，51%已经是尼康持的底线了，这个条件是不容讨论的问题！”

“这么说吧——”周硕轻轻的吹了吹用指甲刀磨好的指甲，渐渐收敛起笑脸道：“产和出售光刻机子公司，尼康选择哪个？”

“周桑这话是什么意思？”鹤田的脸上难得出现了一丝慌，强笑道：“你知不知道尼康是什么公司，岂是能说产就产的？”

周硕哦了一声，挑了挑眉说道：“那是我说错话了，尼康每月五个亿的违约金都能支付的起？”

“五个亿？”鹤田吓了一跳，惊恐的看着周硕，矢否认道：“什么五个亿，我们尼康哪里需要支付五个亿的违约金？”

鹤田怎么会不知道周硕说的是什么，正是因为他知道，所以才心中惊恐万分。尼康和intel签署的合约不说是绝对机密，但也不是谁想知道都能知道的。虽然对这次合同提出了