"周桑,我能离近了观察一下吗?"
周硕挑了挑眉毛,想都没想的点
道:"当然可以,实际上我正想演示一下它的运转过程.如果方便的话,白石经理请你帮忙
作一下旁边的光源系统."
与此同时他自己也站在光刻机另一边的机柜旁,开始在键盘上
作起控制电脑来.白石茉莉奈对尼康自产的光刻机当然无比熟悉,在周硕的指挥下也很快对光源系统进行了设置.
随着设置的结束,一旁储存晶圆的柜子里,在细微的电机声中突然转动了起来.一片晶圆在机械手的
作下被送上了光刻台,已经涂好光刻胶的晶圆在对准系统的
作下,进
了准备接受激光照
的位置……
白石茉莉奈目不转睛的透过玻璃窗,看着正在运转中的光刻机镜
.
在光刻机最后一组镜
的下面,有别于尼康的设备,泛翰研究所的光刻机额外多出了一个玻璃罩.玻璃罩的左右有两个小水管.白石茉莉奈知道,那是注
纯水的通道.玻璃罩的下面到和晶圆上的光刻胶为止,现在应该已经注满了高纯度的去离子水.
真正的高纯度去离子纯水有些微微偏蓝,而不是我们惯常见到的透明色.白石茉莉奈只能通过机械
作的对准系统运转,来判断光刻机是否在工作.因为她是看不到激光颜色的,这是由于光刻的激光高度集中根本不会散
出来,
眼自然也就无看到激光的存在.
周硕站在一旁,双手抱胸看向两个
,不咸不淡的笑道:"怎么样,我们泛翰集团对尼康光刻机的改造,白石经理还看得过眼么?"
说完,他也不理白石茉莉奈的反应,转过身来向鹤田问道:"我不说的话,想必鹤田先生肯定是在怀疑,我们泛翰集团又在耍花招骗取尼康的技术吧?"
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